真空度可能是最关键的考虑因素。真空水平会影响其他每个因素,通常,您需要一个在您的工作压力范围内进行测量的仪表。典型的分类和范围包括:
(1)粗真空:从高于大气压到1 mbar
(2)中真空:1 mbar至10-3 mbar
乐发Ⅷl (3)高真空:10-3 mbar至10-9 mbar
需要不同的仪表技术来实现不同的真空压力范围。根据目标真空水平,可能需要混合仪表才能在整个抽气范围内进行测量。
粗/中真空真空压力表有很多选择,并且有直接和间接的选择,了解工艺要求对于选择正确的真空真空压力表至关重要。
乐发Ⅷl 高真空真空压力表和超高真空真空压力表热阴极或冷阴极型真空真空压力表(两者都是间接真空真空压力表)占主导地位的区域选择略少。
真空度可能是最关键的考虑因素。真空水平会影响其他每个因素,通常,您需要一个在您的工作压力范围内进行测量的仪表。典型的分类和范围包括:
(1)通常,在粗真空到中真空下工作的真空真空压力表比在中到超高真空下工作的真空真空压力表具有更高的精度。直接仪表比间接仪表更准确。直接压力计的精度通常在0.2%到2%之间,其精度会随着压力下降而降低。间接仪表通常在10%到30%之间变化,具体取决于仪表技术,但在其范围内具有一致的精度。
(2)因此,根据您打算使用真空压力表的目的,您需要选择正确的真空压力表来覆盖您的工作压力和所需的精度。